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產(chǎn)品名稱：XYZ直線電機(jī)滑臺(tái)
產(chǎn)品概要：
-- 直線軸XYZ納米級(jí)定位精度；
-- 精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
-- 主體鋁合金材質(zhì)
產(chǎn)品精度：
-- XY軸重復(fù)精度±100nm
-- Z軸重復(fù)精度±200nm
產(chǎn)品名稱：XYθ平臺(tái)
產(chǎn)品概要：
-- 直線軸XY+旋轉(zhuǎn)軸θ電機(jī)平臺(tái)；
-- 小行程精密運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合；
產(chǎn)品精度：
-- XY軸重復(fù)精度±0.5μm
-- θ旋轉(zhuǎn)軸精度±2.5arcsec
產(chǎn)品名稱：耦合平臺(tái)
產(chǎn)品概要：
-- 直線軸XYZ+旋轉(zhuǎn)軸ABC共6軸電機(jī)平臺(tái)；
-- 適用光纖耦合；
產(chǎn)品精度：
-- XYZ軸重復(fù)精度0.3μm
-- ABC旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.5arc sec
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